四甲基氫氧化銨 (75-59-2)性狀  

簡稱：TMAH：

沸點：110 °C密度：0.866 g/mL at 25 °C

蒸氣壓：17.5 mm Hg ( 20 °C)

折射率：n20/D 1.384

閃點：80 °F

儲存條件 2-8°C

四甲基氫氧化銨用途

1.在有機硅方面，四甲基氫氧化銨作為二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有機硅擴散泵油，無溶劑有硅模塑料，有機硅樹脂，硅橡膠等的催化劑；

2.在分析方面，四甲基氫氧化銨作為極譜試劑；

3.在產品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素；

4.在有機硅片生產中常用作計算機硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。

優點：

四甲基氫氧化銨優點是：它具有強堿性，在不超過分解點的溫度下穩定。當催化完畢后很容易除掉，不留任何殘渣。對有機硅產品無污染。因此又稱為“暫時催化劑”，在分析中可用于極譜試劑用來沉淀不含灰份的許多元素的氫化物。

四甲基氫氧化銨(TMAH)的應用領域如下
(1)表面活性劑：由于TMAH屬于季銨堿，可以用作表面活性劑。
(2)有機合成試劑：TMAH是有機堿，能和各種不同的酸反應制備相應的銨鹽，如四甲基碳酸氫銨，四甲基氟化銨等較難合成且沒有市售的銨鹽；制備酸性化合物烷基衍生物等。(3)催化劑：四甲基氫氧化銨在有機硅合成方面被廣泛用作相轉移催化劑，如作二甲基硅油、苯甲基硅油、有機硅擴散泵油、無溶劑有硅模塑料、有機硅樹脂和硅橡膠等的催化劑；可作為橡膠防老劑中間體的縮合催化劑；作沸石、分子篩合成的催化劑。其優點是，反應完后加熱升溫，可使之分解為氣體而趕走不殘留在產品中。
(4)分析領域：TMAH是優異的甲基化劑，其甲基化能大，酯化速度快，在用氣相色譜法測定脂肪酸的組成時，TMAH用作前處理劑。在極譜分析中作支持電解質；TMAH是強有機堿，可作為有機酸的滴定劑，尤其是在避免金屬離子和非水溶劑時，TMAH是很好的選擇。
(5)半導體領域：有機材料蝕刻中TMAH作為正膠顯影劑，有機材料蝕刻主要是指光刻膠在經過顯影和圖形轉移后的去膠；TMAH是一種具有優良的腐蝕性能的各向異性腐蝕劑，選擇性好，無毒且不污染環境。最重要的是TMAH與互補金屬氧化物半導(CMOS)工藝相兼容，符合SOC(嵌入式系統微處理器)的發展趨勢。TMAH正逐漸替代KOH和其他腐蝕液，成為實現微電子機械系統(MEMS)工藝中微三維結構的主要腐蝕劑。
(6)其他領域:在產品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素；作pH值緩沖劑。

包裝：

塑料瓶、塑料桶。

工業上常用25%四甲基氫氧化銨溶液